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Setra壓力傳感器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域
更新時(shí)間：2023-01-06 點(diǎn)擊次數(shù)： 683次Setra壓力傳感器可變電容材料具有極穩(wěn)定的物理化學(xué)性能，可提供高達(dá)±0.02%FS的傳感器，穩(wěn)定性優(yōu)于±0.05%FS，采用其它敏感原理產(chǎn)品難以達(dá)到。先進(jìn)的檢驗(yàn)電路可檢測出敏感電容極微小的變化，從而具有高分辨率，如Setra的Model270大氣壓力傳感器的分辨率可達(dá)0.005%FS。性能優(yōu)勢：1、測量范圍寬：具有很寬的測量范圍，它可對25Pa~70MPa范圍的壓力進(jìn)行的測量，且具有的穩(wěn)定性。2、長期穩(wěn)定性好：與其他同類產(chǎn)品相比具有更高的穩(wěn)定性，與其它傳感器如金屬應(yīng)變式傳感器不同，電容式傳感器的蠕變，時(shí)效和溫度影響均很小。幾乎所有不利因素對電容式傳感器輸出穩(wěn)定性的影響均小于其他形式的傳感器。Setra壓力傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定性可達(dá)到0.05%FS/年。3、高輸出信號：電路可將電容的微小變化直接轉(zhuǎn)換成高輸出信號，而無需進(jìn)行信號放大，壓阻式傳感器（薄模式，C式）輸出信號低，易受外界信號干擾等缺點(diǎn)，而這通常是傳感器穩(wěn)定性差，受溫度影響大，易受電磁波干擾的主要原因。4、防腐抗干擾性能好：與介質(zhì)相接觸的材料均采用不銹鋼材料，因而可與許多酸堿溶液，腐蝕性氣體或液體很好地相容?？闺姶艌龈蓴_高輸出信號、抗干擾設(shè)計(jì)及采用金屬外殼，使Setra壓力傳感器對外部電磁場具有很高的抑制能力，它具有與可編程控制相當(dāng)?shù)目垢蓴_能力。5、在惡劣環(huán)境中工作：非常經(jīng)久耐用，它的工業(yè)級的產(chǎn)品可承受小107次測滿量程壓力循環(huán)，如果工作壓力不，傳感器的循環(huán)壽命幾乎可達(dá)到長，而且其工業(yè)的產(chǎn)品均能承受100~200kg的沖擊和小10~20的振動(dòng)。Setra壓力傳感器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域，遍及半導(dǎo)體工藝的通用氣和特氣GDS系統(tǒng)，這些氣體用于半導(dǎo)體集成電路制造的方方面面。1、現(xiàn)場過程壓力測量；2、吹掃氣體傳輸系統(tǒng)壓力測量；3、傳送室壓力測量和控制；4、潔凈室空氣控制；5、泄漏檢測；6、通風(fēng)柜控制；7、激光干涉儀；8、太陽能等新能源。
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